*MLH-50

  顕微鏡レーザ変位計  MLH-50 MLH-100

特 徴
1.可視光半導体レーザー(赤色)による非接触測定方式を採用
2.最小分解能0.01μmのリニアスケールを対物レンズ駆動部に組み込み、繰り返し再現性σ=0.03μmを実現
3.高性能4分割ディテクターとフォームウェアにより、深い引込量、対物20×時±800μm、対物50×時±500μmを実現
4.ギアを使用しないダイレクトドライブ方式
5.凹凸面の対物レンズ駆動追従範囲がレーザーの常識を超えた10mm
6.微小スポット径対物50×時 約3μm、対物100×時 約1.5μm
7.被測定物の ”色” ”反射率” に左右されにくい
8.同軸照明光学系採用により、観察、計測が便利
9.検出ヘッド部のみOEM供給可

MLH-100
ソフトウェア
断面形状測定、3D形状測定(鳥瞰図)、角度測定、R値測定、2点間距離測定、
マスターとのフィッティング機能、2Dフラット補正、3Dフラット補正、CSVファイル書き出し機能、2D、3Dプリントアウト機能、画像のPC画面内表示&キャプチャー機能、レーザー変位計単発コメントなど。
オプション:粗さ演算機能、非球面計測/評価ソフト)


非接触三次元形状測定装置の測定例