非接触三次元形状測定装置の測定例

断面形状測定例(2D)

X(Y)軸をスキャンさせ、そのときのZ軸の変位をとった物です。
形状測定だけでなく粗さ測定も可能です。
レンズ表面やミラー面ヤスリのような荒れた面などを非接触で測定物をほとんど侵すことなく高速で測定できます。


形状測定


ベアリングボール

蒸着膜

段差ゲージ

接着剤

電極

オプチカルフラット

PDP

V溝

ねじ粗さ


ねじ形状(急な斜面も測定可)

ねじトップ粗さ

ねじボトム粗さ

面粗さ


例1

例2

三次元形状測定例(3D)

X,Y軸をスキャンさせ、そのときのZ軸の変位をとった物です。
鳥瞰図で表示し、高さ方向を色分けできます。
レンズ表面やミラー面ヤスリのような荒れた面などを非接触で測定物をほとんど侵すことなく高速で測定できます。


十円硬貨の一部

オプチカルフラット

PDP

PDP拡大

グレーティング









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